工业用的废气净化处理设备有：活性炭吸附-脱附设备、催化燃烧设备、UV光解、光氧设备、蓄热式设备、VOCs催化氧化分解、低温等离子体设备、生物滤池废气处理设备、喷淋塔。

　　活性炭吸附-脱附设备：

　　活性炭吸附设备适用于浓度低、风量大的有机废气（有机物分子、芳香族化合物、卤代炔），这些有机废气在进入活性炭吸附塔后将会被吸附在活性炭表面上或空隙中，对于部分含有腐殖质、合成有机物和低分子量有机物具有明显的去除效果。

　　工业废气在进入活性炭吸附装置前，需进行初效过滤器除去固体颗粒物的预处理，废气经过活性炭层吸附净化后达标后即可排放于大气层中，废气净化效率可达90%左右。

　　催化燃烧设备：

　　有机废气VOCs在进入氧化室前会先进行蓄热式预热，当温度加热升温到800℃时有机废气就会被氧化分解成CO和HO，氧化后的高温氧气再通过另一个蓄热式释放热量最后排放出RTO系统。

　　设备由热交换器、催化反应床、阻火器、排风机四个部分组成，催化燃烧相对于直接燃烧温度会更低，燃烧会更完全。

　　催化燃烧废气净化处理设备需要用到铂、钯等金属化合物作为催化剂，工业废气在催化剂的作用下可以在低温度下将废气氧化降解成水和二氧化碳。